

| 德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板 TC-RT03 |
| 點擊次數:18 更新時間:2025-11-24 |
產品概述 德國Technologie-Manufaktur公司生產的TC-RT03 MAT是一款高精度的顯微鏡分辨率測試板,主要用于校準、驗證和評估各類光學顯微鏡(如廣角鏡、激光掃描顯微鏡等)的分辨率、對比度和成像性能。其核心采用先進的電子束光刻技術制造,確保了納米級別的結構精度,是光學實驗室和質量控制中的基準工具。
核心技術與優勢
超高精度制造:采用電子束光刻技術直接在鉻層上燒蝕生成測試結構,最小結構尺寸可低至100納米,確保了佳的尺寸公差(低至14納米)和結構邊緣的直線度。
優異的光學性能:
基底材料:使用石英(熔融二氧化硅),提供從深紫外到近紅外(190nm - 2000nm)的極寬光譜透射范圍,適用于多種光源。
高對比度:鉻層提供了高的光密度,通過燒蝕形成的測試結構是透明的,而背景是不透光的鉻層,從而產生極其銳利的高對比度圖像。
堅固耐用的設計:測試芯片被牢固地封裝在一個激光雕刻的不銹鋼支架(75mm x 25mm) 中,符合標準顯微鏡載玻片尺寸,便于操作和保存。 主要技術參數
參數項目 規格說明 產品型號 TC-RT03 MAT 有效基底 石英晶圓(熔融二氧化硅),尺寸:10mm x 10mm x 1.0mm 封裝支架 不銹鋼,尺寸:75mm x 25mm x 1.5mm 結構層 鉻層,高光密度 (>3.6 @ 1µm) 關鍵結構 可變線對(最高可達3300 LP/mm以上)、針孔陣列(20x20)、棋盤格、邊緣MTF區域 制造工藝 電子束光刻 光譜范圍 190納米 - 2000納米 可選配置 0.17mm ± 5µm 蓋玻片(專用于高倍物鏡) 主要應用領域
顯微鏡校準與分辨率測試:精確測量光學顯微鏡在不同放大倍數(從10x到100x物鏡)下的極限分辨率。
成像系統性能評估:用于評估包括激光掃描顯微鏡在內的各種成像系統的調制傳遞函數(MTF)、對比度和像差。
科學研究與質量控制:在生命科學、材料科學、半導體檢測等領域,作為驗證儀器性能和確保測量一致性的標準件。
品牌與產品線 德國Technologie-Manufaktur 是一家在精密光學領域享有盛譽的制造商。除了高精度的分辨率測試板(定位板)外,其產品線還包括:
傳感器
攝像頭
遠程顯微鏡
總結 Technologie-Manufaktur的TC-RT03 MAT分辨率測試板集成了頂尖的制造工藝和優質材料,為光學成像領域提供了可靠且高精度的測量基準。無論是用于前沿科學研究還是嚴格的工業質量控制,它都是確保顯微鏡系統處于最佳工作狀態的理想工具。 |